光鍍膜機維護與保養主要包換電子槍安裝與維護、光路的檢修與維護、設備的清洗與保養。

 

    一、電子槍安裝與維護

 

    電子槍蒸發(fā)源控制系統是由電子槍燈絲電源、高壓電源、掃描電源、坩堝驅動(dòng)電源、蒸發(fā)源等組成一個(gè)電子槍控制電柜。

 

    電子槍控制電柜內含有高壓，在工作前必須保證柜門(mén)各個(gè)聯(lián)鎖裝置正常工作，非專(zhuān)業(yè)人員不得打開(kāi)電柜門(mén)，電子槍在工作時(shí)不得打開(kāi)電柜門(mén)，整個(gè)電柜必須有良好的接地并與機臺接地連接。

 

    電子槍蒸發(fā)源安裝在真空室底板上，必須與底板有良好的接地效果，安裝蒸發(fā)源必須使用不銹鋼螺絲來(lái)固定，周邊200mm以?xún)炔坏糜袑Т诺奈矬w，否則會(huì )影響到電子槍的光斑成表，造成電子性能的不良。電子槍檔板應盡量裝在蒸發(fā)源坩堝的中心上30mm處，以不影響電子束的發(fā)射為好。

 

    電子槍蒸發(fā)源是一個(gè)精密機械加工體，在工作時(shí)必須保證有良好的冷卻水，如過(guò)高的溫度會(huì )影響電子束的成型及各密封圈的性能。

 

    （一）電子槍頭

 

    電子槍的槍頭安裝好壞直接影響到工作的正常進(jìn)行，其發(fā)生的故障有90%同電子槍槍頭有關(guān)。

 

    電子槍槍頭有使用一段時(shí)間后，會(huì )因為組件的污染而影響電子束的成型及功率，需要拆卸清潔。

 

    （二）坩堝的維護

 

    拆坩堝之前，請先關(guān)掉水路用壓縮空氣把電子槍冷卻管內的水分盡可能吹干凈。

 

    蒸發(fā)源裝卸順序：

 

    1.拆落兩條冷卻水連接管。2.擰出電子槍槍頭連接高壓線(xiàn)兩個(gè)螺絲。3.拆坩堝傳動(dòng)連接座、聯(lián)軸器。4.擰落蒸發(fā)源四個(gè)固定螺絲。5.把蒸發(fā)源搬運到一個(gè)穩定平整的工作臺。6.拆落坩堝蓋板四個(gè)螺絲，取下蓋板打磨干凈。7.檢查蓋板上面兩個(gè)密封圈是否需要更換。8.把蒸發(fā)源反轉過(guò)來(lái)倒置，用木板墊住坩堝部分。9.擰下固定坩堝轉動(dòng)四個(gè)螺絲10.抬起蒸發(fā)源，取下坩堝 11.把坩堝倒置，擰下坩堝底蓋的八個(gè)螺絲，清洗干凈里面的污垢，檢查是否需要近密封圈。12.擰下導水管的一個(gè)螺絲13.擰下坩堝轉動(dòng)機構與坩堝蓋板連接的四個(gè)螺絲 14.撥出坩堝轉動(dòng)軸，檢查轉動(dòng)軸的油封是否需要換件 15.把坩堝清潔干凈安裝。安裝按上面的倒過(guò)順序來(lái)進(jìn)行。

 

    （三）導磁板及掃描圈的維護

 

    導磁板及永磁鐵是不需要經(jīng)常拆卸維護，如需拆卸，請注意永磁鐵的極向，及導磁板的方向。線(xiàn)圈由于安裝的空間密實(shí)，請不要使用硬尖的東西撬動(dòng)，否則有可能會(huì )造成損壞。

 

    二、光路的檢修與維護

 

    光路調整的先決條件是：確保直流穩定電源、調制光源頭、光纖、光柵單色儀、光電轉換放大器、光學(xué)膜厚儀及各電纜的完好和正確接入。特別是光電轉換放大器、光學(xué)膜厚測量?jì)x的接地點(diǎn)，必須單獨歸至主機接點(diǎn)牢固接地。

 

    三、光學(xué)鍍膜機的清洗

 

    光鍍膜機使用一個(gè)星期后（三班），因鍍料除鍍在工件表面 外，亦因無(wú)定向性而工作室 內的襯板上鍍料，并越鍍越厚，該層膜厚因組織、繞疏松，吸收大量氣體而造成真空鍍膜設備抽氣越來(lái)越慢。此時(shí)，應對工作室及襯板進(jìn)行清洗，如不必要拆落來(lái)的部件，可用砂紙打磨干凈，襯板可浸泡在水溶液里，和水的比例看需要浸泡時(shí)間長(cháng)短以及不傷襯板為原則。

 

    注：襯板必須烘干水份才能安裝，烘干前，襯板的水分盡量抹干，工作架等部件用砂紙清潔后，需要把真空室的所有灰塵清理干凈，此可用吸塵器吸干凈灰塵。后安裝襯板時(shí)，真空室及襯板都需要用酒精控拭干凈。

 

    因使用電子槍及離子源輔助鍍膜，可能會(huì )造成清潔困難，可使用噴沙等方法來(lái)清潔。

 

    四、光學(xué)鍍膜機的保養

 

    （一）定期更換擴散泵油

 

    擴散泵油使用一段時(shí)間，約二個(gè)月（兩班），因在長(cháng)期高溫環(huán)境，雖然較高真空時(shí)才啟動(dòng)擴散泵，但仍殘留氧氣及其它成份使之與擴散泵油起反應，擴散泵油在高溫下也可能產(chǎn)生裂解，使其品質(zhì)下降，而延長(cháng)抽氣時(shí)間。在我們認為時(shí)間延長(cháng)得太多時(shí)，應予更換。

 

    （二）真空泵

 

    機械泵油、維持泵油在使用二個(gè)月，油質(zhì)會(huì )發(fā)生變化。因油可能抽入水分、雜質(zhì)及其它原因，而使用油粘性變差，真空下降，故需要更換。如為新設備，在使用頭半個(gè)月即應更換，因在磨合期，油含磨合鐵粉較多，會(huì )加劇磨損。

 

    （三）清潔衛生

 

    定期將設備及其周?chē)h(huán)境衛生搞好，常保持設備內外清潔，將設備周?chē)h(huán)境整理有條，有一個(gè)好的工作環(huán)境，以保安全。